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超纯水在太阳能行业、硅片切割行业的应用半导体晶片切割制造用水工艺、半导体芯片清洗

来源:纯水设备??????2018/6/24 9:55:38??????点击:

水处理设备】超纯水应用范围概述:


电解电容器生产铝箔及工作件的清洗


电子管生产 电子管阴极涂敷碳酸盐配液


显像管和阴极射线管生产 配料用纯水


纯水设备黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水


液晶显示器的生产 屏面需用纯水清洗和用纯水配液


晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制


集成电路生产中高纯水清洗硅片


二、典型工艺流程


    预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (18MΩ.CM)(传统工艺)


      预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.20.5μm精密过滤器-用水对象(18MΩ.CM)(最新工艺)


      预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.20.5μm精密过滤器-用水对象(17MΩ.CM) (最新工艺)    


        预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.20.5μm精密过滤器-用水对象(15MΩ.CM)(最新工艺)


    纯水设备处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (15MΩ.CM)(传统工艺)


三、达到标准


  显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)


    集成电路用纯水水质


    国家电子级纯水标准


    美国SEMI标准


高纯水的制备上。纯水设备实验室纯水设备工业纯水设备, 苏州水处理设备医用GMP纯化水设备 医用水处理设备


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